一、當正在鍍膜時真空度突然下降：
1、蒸發(fā)源水路膠圈損環(huán)（更換膠圈）
2、坩堝被打穿（更換坩堝）
3、高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）
4、工轉動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
5、預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
6、高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
7、機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否工作正常）
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）
9、擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）
二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空：
1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應清冼）
2、擴散泵很久未換油（應清冼換油）
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應清冼換油）
4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）
5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）
6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）
7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）
8、高低預閥是否密封可靠（注油）
